【作 者】苑伟政，马炳和编著
【形态项】 243
【出版项】 西安：西北工业大学出版社 , 2000.08
【ISBN号】7-5612-1274-7
【中图法分类号】TH-39
【原书定价】22.00
【主题词】微电子技术(学科: 应用 学科: 机械加工) 微电子技术 机械加工
【参考文献格式】 苑伟政，马炳和编著. 微机械与微细加工技术. 西安：西北工业大学出版社, 2000.08.
内容提要:
本书内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术等。
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